จำเป็นต้องใช้แก๊สช่วยสำหรับการตัดด้วยเลเซอร์ซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄) หรือไม่นั้น ขึ้นอยู่กับความหนาแน่นและความหนาของวัสดุ
1. สถานการณ์การใช้งาน
----Si₃N₄ ความหนาแน่นต่ำที่มีรูพรุน (8 มม.): สามารถตัดด้วยเลเซอร์ QCW ขนาด 1kW (สูงสุด 3kW) โดยใช้อากาศและพารามิเตอร์เฉพาะ คุณภาพเป็นที่ยอมรับ
----Si₃N₄ แบบกดร้อนหนาแน่น (8 มม.): แม้จะใช้เลเซอร์พีค 10kW แต่ก็แนะนำให้ใช้การใช้ไนโตรเจน ควรหลีกเลี่ยงอากาศ
2. หลักการสำคัญ
สำหรับ Si₃N₄ ที่มีความหนา 8 มม. การตัดด้วยเลเซอร์เกี่ยวข้องกับการระเหยด้วยความร้อนและการแปรสภาพเป็นแก๊ส Assist Gas มีบทบาทสำคัญสามประการ:
----กำจัดสารตกค้างที่หลอมละลาย/กลายเป็นไอ: อุณหภูมิสูงทำให้เกิด Si และ SiO₂ หลอมเหลว; หากไม่มีแก๊ส รอยตัดจะอุดตัน ทำให้เกิดการตัดหรือการบิ่นที่ไม่สมบูรณ์
---- เย็นและป้องกันรอยแตกร้าว: บอร์ดหนาสะสมความเครียดจากความร้อนสูง ก๊าซจะพาความร้อนออกไป ป้องกันการแตกหักและการบิ่นของขอบ
---- ไม่รวมออกซิเจนเพื่อหลีกเลี่ยงการเกิดออกซิเดชัน: อากาศหรือ O₂ ก่อให้เกิดชั้นออกไซด์ ทำให้การตัดดำคล้ำ เพิ่มความหยาบ และลดความแข็งแรง
3. ช่วยเลือกก๊าซ
----ไนโตรเจนที่มีความบริสุทธิ์สูง (N₂, 99.99%): พบมากที่สุดและคุ้มค่า; ป้องกันการเกิดออกซิเดชัน พัดเศษซาก เย็นตัวลง และทิ้งบาดแผลที่สะอาด ความดัน: 0.6–0.8 MPa เหมาะสำหรับคลิป แคลมป์กำหนดตำแหน่ง ชิ้นส่วนที่ซับซ้อน เซมิคอนดักเตอร์ และส่วนประกอบ NEV
----อาร์กอนที่มีความบริสุทธิ์สูง (Ar, 99.999%): เฉื่อย, บริเวณที่ได้รับความร้อนน้อยกว่า, การตัดที่นุ่มนวลเป็นพิเศษโดยแทบไม่มีการบิ่นเลย เหมาะสำหรับพื้นผิวเกรดยานยนต์และมีความแม่นยำสูงแต่มีราคาแพง
----ห้ามใช้อากาศหรือ O₂: ทำให้เกิดรอยบาด ขรุขระ กะเทาะอย่างรุนแรง ไม่เป็นที่ยอมรับสำหรับเซรามิกที่มีความแม่นยำ
4. พารามิเตอร์เชิงปฏิบัติ
---- ประเภทเลเซอร์: ไฟเบอร์เลเซอร์ / UV picosecond
----ช่วยก๊าซ: มีความบริสุทธิ์สูง N₂, 0.7MPa
---- กำลัง: ไฟเบอร์เลเซอร์ 500–1000W
---- วิธีการตัด: การตัดแหวนแบบหลายชั้น 3-4 รอบเพื่อป้องกันการแตกร้าว
---- โฟกัส: โฟกัสเชิงลบ (ใต้พื้นผิวของวัสดุ) ช่วยให้มั่นใจได้ถึงรอยตัดที่สม่ำเสมอ
YCLaser ให้การประมวลผลด้วยเลเซอร์สำหรับวัสดุแข็งและเปราะต่างๆ รวมถึงการสุ่มตัวอย่างฟรีและการปรับกระบวนการให้เหมาะสมติดต่อเราเพื่อรับโซลูชันที่ปรับแต่งตามความต้องการ
